工程面积：工程总面积约955m2,其中百级间526m2,万级间293m2。
百级净化间与万级净化间制冷系统均为FFU洁净单元+干盘管制冷+恒温恒湿新风系统。百级满布FFU，断面风速0.2~0.5m/s，万级均布FFU，设计换气次数≥25次/H。
组合风柜、板式换热器冷源由甲方已有的冷冻水系统提供。
百级与万级洁净室空气净化方案均采用FFU洁净单元循环送回风。
新风在新风组合风柜进行初效过滤、热湿处理、中高效过滤后分两路分别送入百级与万级洁净室顶部天花夹层，天花做环氧树脂防尘处理。新风与回风混合后由FFU洁净单元送入洁净室内。送风动力由FFU风机提供。