本车间洁净区空调系统最大小时用冷量：187kW，最大小时用热量：200kW；冷冻水供回水温度为：7/12℃，空调系统用冷由厂区冷冻站供应，空调系统用蒸汽由厂区锅炉房提供。
空调系统最大小时用汽量为：0.3t/h，所需蒸汽压力为：0.2MPa。