某半导体洁净厂房空调施工图

本套图纸是某半导体洁净厂房空调施工图，图纸包含空调设备规格表、风系统流程图、水系统流程图、风管平面图、水管平面图、高效过滤单元（FFU）平面布置图。
此厂房车间有万级、千级、百级，还有一个十级的房间，洁净度相对来说是比较高的。对于洁净厂房来说，应该是个很好的案例！