本标准规定了单晶硅生长用石英坩埚的产品分类与标记、规格尺寸、技术要求、试验方法、检验规则、包装、标志、运输和储存。
本标准适用于用高纯石英（二氧化硅）做原料，采用电弧法工艺生产，应用于直接法生长单晶硅材料的石英坩埚。
发布日期： 2007-05-29
实施日期： 2007-11-01