摘录
1.1 洁净室的定义
洁净室是空气悬浮粒子浓度受控的房间,其建造和使用方式可最大限度减少房间进入的、产生的和滞留的粒子。房间内的温度、湿度、压力等其他相关参数均按要求受控(ISO 14644-6)
洁净室的四大技术要素是
一、送风至少经过三级过滤(粗效、中效和高效),并且高效过滤器应设置在系统的末端。
二、洁净室应有足够的净化和空调的送风量。
三、洁净室应维持必要的压力梯度(正压梯度或负压梯度)。
四、洁净室应有合理的气流组织......




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