本部分适用于半导体压力传感器，它等同采用IEC 60747-14-3:2001《半导体器件 第14-3部分：半导体传感器--压力传感器》。
本部分规定了测量绝压、表压和差压的半导体传感器的要求。
发布日期： 2006-08-23
实施日期： 2007-02-01
首发日期： 2006-08-23