微电子洁净厂房运行与管理课件

洁净室---CLEAN ROOM
空气悬浮粒子浓度受控的房间。
它的建造和使用应减少空间内诱入、产生及滞留的粒子。室内其他有关参数如温度、湿度、压力等按要求进行控制。
洁净区---Clean　zone
空气悬浮粒子浓度受控的限定空间。它的建造和使用应减少空间内诱入、产生及滞留粒子。室内其他有关参数如温度、湿度、压力等按要求进行控制。
洁净区可以是开放式或封闭式。