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微电子工业洁净厂房的设计探讨
  • 资料等级:
  • 授权方式:资料共享
  • 发布时间:2012-07-15
  • 资料类型:RAR
  • 资料大小:1.5 MB
  • 资料分类:暖通工程
  • 运行环境:WinXp,Win2003,WinVista,Win ;
  • 解压密码:gc5.com
微电子工业洁净厂房的设计探讨
微电子工业的飞速发展,推动了洁净室设计技术的发展,同时对洁净室的设计提出了更高的要求,微电子工业洁净厂房的设计是一项综合技术,只有充分了解微电子工业洁净厂房的设计特点,做到设计合理,才能做出优秀的项目。论文以微电子工业洁净厂房的设计为研究内容,具有重要的现实意义和很大的研究价值。