由沉淀池（内长10米）、循环冷水池A（内长10米）；循环冷水池B、C（内长12米）；循环热水池A、B（内长12米）；消防及生活生产水池（内长10米）组成四组水池群。占地面积90×13米。
均为钢筋抗渗混凝土结构。
施工程序：
1、基坑开挖：晶体生长一车间循环水池与一车间水泵间和晶体加工车间水泵间同时开挖，采用挖掘机机械开挖，人力清理基底；挖出的余土用翻斗车运至二期工程预留地堆放，以备回填用。
2、混凝土垫层：采用商品混凝土，由供应商按合同要求提供符合设计要求的合格混凝土，用搅拌车运输到现场，由泵车按程序浇筑指定位置。